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所謂真空，是指在給定的空間內，壓力低于101325Pa的氣體狀態。在真空狀態下，氣體的稀薄程度通常用氣體的壓力值來表示，顯然，該壓力值越小則表示氣體越稀薄。工業上有各種各樣的真空泵，對于各種泵的性能都有規定的測試方法來檢驗，主要參數有：
1、抽氣速率：在真空泵的吸氣口處，單位時間內流過的氣體體積。傳統工業用真空泵體積普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和潤滑機油，介質氣體內會含有大量油霧。
2、 極限真空（通常稱為真空度）：將真空泵與檢測容器相連，放入待測的氣體后，進行長時間連續抽氣，當容器內的氣體壓力不再下降而維持某一定值時，此壓力稱為泵的極限真空。該值越小則表明越接近理論真空。
隨著儀器儀表工業的發展以及人們對環保的要求，各國的微型無油真空泵應運而生，普遍有以下規律：泵的價格和真空度指標密切相關。真空度指標是各國生產商努力追求的主要指標，它反應了相應的機械加工、密封技術、材料科學等領域的整體實力，也是生產商獲取利潤的重要手段。要提高真空度指標，就必須有更高的密封條件，因此就需要采用尺寸更精確、材料性能更優異的零部件，于是生產成本就大幅度提高了。而且價格的增幅遠遠大于真空度指標的增幅。當然，抽氣速率的提高也會引起價格的攀升，但其增幅不大。因此，選擇微型真空泵時需要認真考慮真空度指標、抽氣速率指標、自己的使用情況等，這樣才能兼顧使用性能和成本。
高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它對工作環境的清潔條件、溫度參數、介質成分等均有更高的要求。
振動和噪音。泵的抽氣速率和真空度越高，振動和噪音也越大。
二、真空度單位的解釋
對于真空度的標識通常有兩種方法，一是用壓力（即：真空度）標識，二是用相對壓力（即：相對真空度）標識。所謂壓力是指，真空泵與檢測容器相連，經過足夠時間連續抽氣后，容器內的壓力不再繼續下降而維持某一定值，這時容器內的氣體壓力值就是泵的壓力。如果容器內沒有氣體，那么壓力就是零，這是理論真空狀態。在實際情況中，真空泵的壓力值介于0～101.325KPa之間。壓力值需要用壓力儀表測量，在20℃、海拔高度＝0的地方，儀表的初始值為101.325KPa。 相對真空度是指被測對象的壓力與測量地點大氣壓的差值。用普通真空表測量。在沒有真空的狀態下，表的初始值為0。當測量真空時，它的值介于0到－101.325KPa（一般用負數表示）之間。比如，測量值為－30KPa，則表示泵可以抽到比測量地點的大氣壓低30KPa的真空狀態。同一臺泵在不同的地點測量，其相對壓力值可能是不同的，因為不同測量地點的大氣壓是不同的，這是各地的海拔高度、溫度等不同客觀條件造成的。真空行業通用的、是用壓力標識；由于測量相對真空度的方法簡便、測量儀器非產普遍、容易買到且價格便宜，因此它也得到廣泛應用。當然，理論上二者是可以相互換算的。換算方法如下：壓力＝測量地點的氣壓－相對壓力。
三、關于微型真空泵與氣體采樣泵的區別
1、通常我們把能產生負壓的小體積泵都稱作 微型真空泵，但在產品選型時卻要嚴格區分。
2、真正意義上的微型真空泵是可以長時間對密閉容器抽真空的泵，它可以帶動較大的負載。而氣體取樣泵，工作時泵腔內外的壓差較小，所以它帶的負載是很小的。就是因為對帶載能力的要求不同，造成微型真空泵與氣體采樣泵所選用的零配件有很大的差別。
3、微型真空泵對隔膜和電機都有很高的要求。對這兩個主要零件而言，疲勞強度、可靠性、壽命等技術指標都是要求在帶負載的條件達標，而不同于氣體采樣泵只要求在極輕載荷下達標（試驗證明，負載稍大氣體采樣泵就容易損壞）。因此，兩種微型泵的成本差別很大。
4、綜上所述，如果把微型真空泵用于氣體采樣，勢必得到很高的可靠性、更長的壽命，但成本偏高；如果把氣體采樣泵用在負載稍大的場合，可靠性壽命就、大打折扣，甚至無法正常工作，雖然它在成本上有較大優勢。選型時向技術部門咨詢清楚，以便兼顧成本和性能。有些氣體采樣泵也能達到較好的真空度和流量指標。但是，達到這個技術指標和能在這個指標下長時間可靠工作是兩回事。比如，某微型泵，能達到30KPa的真空度，那么當泵的抽氣口經常處在這個真空度下時，真空泵是否能可靠工作？因此，真空泵能達到的指標和它能可靠工作的指標是不一樣的，請購買時一定向制造商或經銷商確認。
